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IMS-LM 高性能長行程線性電機平移臺具有最長的行程長度和線性電機，在提升速度和平順性的同時，保留了堅硬的鋁制機身和堅固耐用的組件，可在高占空比應用中實現亞微米分辨率。 非接觸直接驅動系統，可實現高動態響應和高可靠性 高效鐵芯線性電機，可實現快速和可重復定位 高分辨率線性編碼器，可用于亞微米級重復性和 20 nm MIM 為剛性 XY 組件而設計的剛性主體，行程可達 600 x 600 mm
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ILS-LM 系列中檔行程線性電機動平移臺的亮點包括堅硬的鋁制主體、優異的精度和高占空比能力，以及線性電機的其他特性，如更快的運動和更高的速度穩定性。 高速，高加速度和高響應性，磨損度極低 比螺桿驅動平移臺短 150 mm，使其更緊湊，更節省空間 高效可靠的線性電機，可實現較高扭矩和平滑運動 FEM 優化的鋁制機身可實現較高剛度，并最大限度減少熱膨脹和雙金屬彎曲效應
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1733產品描述
XM 超精密線性電機平移臺可提供持續、可靠的動力性能，運動精度可以達到 1 nm。如此*的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應用的理想選擇。 性能超高，最小增量運動為 1 nm 非接觸直接驅動系統，精度超高、動態性能優異且操作可靠 亞納米級高精度玻璃標度編碼器，重復精度為 80 nm 超大型無鐵心高效率線性電機可最大限度地減少發熱 靜音抗蠕變交叉滾子軸承可確保無波紋運動
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MLT 薄型鋁制直線電機平臺緊湊、薄型、高精度線性位移臺將 XM 系列的超精密性能與VP 線性位移臺系列的緊湊性相結合。 這些位移臺集合了適用于各種工業應用的MKS精密位移臺的最新創新設計和專業知識，同時包含了與 MKS 運動控制器一起使用所需的基本設置。 MLT 位移臺非常適合半導體、工業及科研中的典型掃描或點對點應用，用于計量、傳感器測試和校準、對準和拾放組裝。
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FCL 智能內置控制器步進電機線性平移臺采用內置式即插即用步進電機控制器和驅動器，同時保持了高精度。 內置步進電機控制器具有 iPP 技術，免去了任何電機電纜和驅動器設置 預先配置了 USB 通信，實現了開箱即用的控制 可以通過帶有一個 GUI 的 RS-422 對最多 4 個 FC 單元進行菊瓣式連接和控制；或通過 USB 集線器對更多的單元進行菊瓣式連接和控制
